Manipulator vakum dianggo pikeun mindahkeun atanapi posisi wafer atanapi barang dina kamar vakum khusus sareng pikeun aplikasi penanganan bahan. Aranjeunna nyadiakeun ngaronjat kalenturan sabab Tumbu kaku teu dipaké. Sababaraha manipulator vakum kaasup alat ningkatna atawa tungtung-effectors. Batur kaasup konci beban sarta wobble iteuk. Seringna, manipulator vakum dianggo babarengan sareng kamar vakum. Pawang wafer atanapi robot mangrupikeun jinis manipulator vakum otomatis pikeun mindahkeun wafer atanapi substrat kana atanapi kaluar tina PVD, CVD, etsa plasma atanapi kamar pangolahan vakum anu sanés. Pikeun nyiptakeun kamar vakum, motor vakum atanapi motor in-vakum sacara fisik ngompa hawa tina bejana dugi tekanan sub-atmosfir anu dipikahoyong kahontal. Upami kamar vakum ngandung vakum ultra luhur, maka manipulator vakum ultra luhur sareng motor vakum ultra luhur kedah dianggo.
1. Desain unik tina mamat bisa nyieun obyék naek atawa turun di will, tapi ogé muterkeun dina sagala arah tina korsi dibereskeun tina mamat sangkan operasi merenah tur akurat. Desain kadali jauh brings genah kana operasi sarta ensures kasalametan pamaké.
2. The clamp of mesin nyeuseup vakum adopts plat nyeuseup diimpor, kalawan gaya adsorption kuat, kaamanan tinggi jeung panangtayungan produk tina karuksakan.
3. vakum bango bisa kalayan gampang mawa barang jeung rapuh, hese diangkat, sarta permukaan lemes pikeun ngaronjatkeun efisiensi, ngurangan gaya kuli sarta ngahemat waragad perusahaan.